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VT6000系列共聚焦顯微鏡

  • 產品型號:VT6000系列
  • 產品名稱:共聚焦顯微鏡
  • 主要特點:高速并行掃描,高精度、高重復性

  • 生產企業:深圳市中圖儀器股份有限公司

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詳細信息

一、產品簡介(jie)

  VT6000共聚焦顯微鏡是一款用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器。它是以共聚焦技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析,并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數,從而實現器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。

  VT6000共聚焦顯微(wei)鏡可(ke)(ke)廣泛應(ying)用于半(ban)導體制造(zao)及(ji)封(feng)裝工(gong)藝檢測、3C電子(zi)玻(bo)璃(li)屏及(ji)其精密(mi)配件(jian)、光(guang)學加工(gong)、微(wei)納材料(liao)制造(zao)、汽(qi)車(che)零(ling)部件(jian)、MEMS器件(jian)等(deng)超(chao)精密(mi)加工(gong)行業及(ji)航空(kong)航天、科研院所等(deng)領域中。可(ke)(ke)測各類包括從光(guang)滑到(dao)(dao)粗(cu)糙、低反射率到(dao)(dao)高反射率的物體表面(mian),從納米(mi)到(dao)(dao)微(wei)米(mi)級別工(gong)件(jian)的粗(cu)糙度、平整度、微(wei)觀幾何輪廓、曲率等(deng),提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大(da)國內外標(biao)準(zhun)共計300余種2D、3D參數(shu)作(zuo)為評價(jia)標(biao)準(zhun)。

二、應用領域

  對各種產(chan)品、部(bu)件和材料(liao)表面(mian)的面(mian)形(xing)輪(lun)廓(kuo)、表面(mian)缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面(mian)度、粗糙度、波紋(wen)度、孔隙(xi)(xi)間隙(xi)(xi)、臺階(jie)高度、彎曲變形(xing)情況、加(jia)工情況等表面(mian)形(xing)貌特征進行(xing)測量和分(fen)析。

應(ying)用范例(li):

V型槽(cao)

槽道

倒金字塔

激光孔

太(tai)陽能柵(zha)線

微透鏡陣(zhen)列(lie)

 

錐形孔

透鏡

 

 

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