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SuperView W1 光學3D表面輪廓儀

產品(pin)型號:SuperView W1系列

產品名稱:光(guang)學3D表面輪廓儀

  • 主要特(te)點:非接觸式無損檢測,一鍵分析、快速高效
  • 生產企業:深圳市中圖儀器股份有限公司
  • 注釋:更多詳細產品信息,請聯系我們獲取

 

詳細信息

  一、 產品描述

  SuperView W1光學3D表面輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析,并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數,從而實現器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。

 

  SuperView W1光學3D表面輪(lun)廓(kuo)儀可(ke)廣泛應用于半導體制造及封裝工(gong)藝檢測、3C電(dian)子(zi)玻璃屏(ping)及其精密(mi)配件(jian)、光學加工(gong)、微納(na)材料(liao)及制造、汽車零部件(jian)、MEMS器件(jian)等(deng)超(chao)精密(mi)加工(gong)行業及航空航天(tian)、國防軍工(gong)、科研(yan)院所等(deng)領(ling)域中。可(ke)測各(ge)類(lei)從超(chao)光滑(hua)到(dao)粗糙、低反射(she)率(lv)(lv)(lv)到(dao)高反射(she)率(lv)(lv)(lv)的物體表面,從納(na)米到(dao)微米級別工(gong)件(jian)的粗糙度(du)、平(ping)整度(du)、微觀幾何輪(lun)廓(kuo)、曲率(lv)(lv)(lv)等(deng),提(ti)供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外(wai)標(biao)準(zhun)共計300余(yu)種2D、3D參(can)數(shu)作(zuo)為評價標(biao)準(zhun)。

 

二、產品(pin)功能(neng)

1)設備提供(gong)表征微觀形(xing)貌的粗糙(cao)度和臺(tai)階高(gao)、角度等(deng)輪廓尺寸測量功能;

2)測量中提供自(zi)動(dong)對焦、自(zi)動(dong)找條(tiao)紋(wen)、自(zi)動(dong)調亮度等自(zi)動(dong)化輔助功能;

3)測(ce)(ce)量(liang)中(zhong)提供自(zi)動拼接測(ce)(ce)量(liang)、定位(wei)自(zi)動多區(qu)域測(ce)(ce)量(liang)功能;

4)分析中提供(gong)校平、圖(tu)像修(xiu)描、去(qu)噪和濾波(bo)、區域提取等(deng)四大模塊的數據處理功能;

5)分(fen)(fen)(fen)析(xi)中提供粗糙(cao)度分(fen)(fen)(fen)析(xi)、幾何輪廓(kuo)分(fen)(fen)(fen)析(xi)、結(jie)構分(fen)(fen)(fen)析(xi)、頻率分(fen)(fen)(fen)析(xi)、功能分(fen)(fen)(fen)析(xi)等(deng)五大分(fen)(fen)(fen)析(xi)功能;

6)分(fen)析(xi)中同時提(ti)供一鍵(jian)分(fen)析(xi)和多文件分(fen)析(xi)等輔助分(fen)析(xi)功能。


三(san)、應用領域

  對各種產(chan)品、部件和材料(liao)表面(mian)的(de)平面(mian)度(du)(du)、粗糙度(du)(du)、波紋度(du)(du)、面(mian)形(xing)(xing)輪廓(kuo)、表面(mian)缺(que)陷、磨(mo)損情(qing)況(kuang)(kuang)、腐蝕情(qing)況(kuang)(kuang)、孔隙間隙、臺階高(gao)度(du)(du)、彎曲變形(xing)(xing)情(qing)況(kuang)(kuang)、加工情(qing)況(kuang)(kuang)等(deng)表面(mian)形(xing)(xing)貌特征(zheng)進行測量和分(fen)析(xi)。

應用范例:

半導體(ti).拋光硅片、減薄硅片、晶(jing)圓IC

3C電子.藍寶石(shi)玻璃粗糙度、手(shou)機金(jin)屬殼模具(ju)瑕疵、手(shou)機油墨屏(ping)高度差

超精密加工.光學透(tou)鏡(jing)

精密加工.發動機葉片

精(jing)密加工.金字塔型(xing)金剛石磁頭(tou)

標準樣塊.單刻線(xian)(xian)臺(tai)階、多刻線(xian)(xian)粗(cu)糙度

 

四(si)、性能特(te)色

1.高精度、高重復性

1)采(cai)用光學干涉技(ji)術、精(jing)密Z向掃描模塊和(he)優異的3D重建算法組成測量(liang)(liang)系統,保證測量(liang)(liang)精(jing)度(du)高;

2)獨特的隔振系統,能夠有效隔離頻率2Hz以上(shang)絕大(da)部(bu)分振動,消除地面振動噪聲(sheng)(sheng)和(he)空氣中(zhong)聲(sheng)(sheng)波(bo)振動噪聲(sheng)(sheng),保(bao)障儀器在大(da)部(bu)分的生產車間環(huan)境(jing)中(zhong)能穩定使用,獲(huo)得極(ji)高的測量重復性(xing)。

 

2.環境噪聲檢測功能

  具備0.1nm分辨率的環(huan)境(jing)噪聲檢測模塊,能(neng)夠定量評估出外界(jie)環(huan)境(jing)對儀器掃描軸的震動(dong)干擾,在(zai)設備調試(shi)、日常監測、故障(zhang)排查中(zhong)能(neng)夠提供定量的環(huan)境(jing)噪聲數據(ju)作為支(zhi)撐。

 

3.精密操縱手(shou)柄(bing)

  集成(cheng)X、Y、Z三個方向位移調整功(gong)能的(de)操縱手(shou)柄,可快(kuai)速(su)完成(cheng)載物臺平(ping)移、Z向聚(ju)焦、找條紋等測量前工(gong)作。

 

 4.雙重防撞保護措施

  在初級(ji)的軟件ZSTOP設(she)置(zhi)Z向位(wei)移下限(xian)位(wei)進(jin)行(xing)防撞保(bao)護外,另(ling)在Z軸上設(she)計有機(ji)械電子傳感器(qi),當(dang)鏡頭觸碰到樣(yang)品表面時(shi),儀器(qi)自動進(jin)入(ru)緊(jin)急停止狀態,最大(da)限(xian)度的保(bao)護儀器(qi),降低人為操作風險。

 

5.雙通道氣浮隔振系統

  既(ji)可(ke)以(yi)接(jie)入客(ke)戶現場的穩(wen)定氣源(yuan)也(ye)可(ke)以(yi)接(jie)入標配靜音空壓機,在(zai)無外(wai)接(jie)氣源(yuan)的條(tiao)件下也(ye)可(ke)穩(wen)定工(gong)作。

 

五(wu)、應(ying)用案例:

復合(he)材料測量

水(shui)機葉片(pian)磨損(sun)檢測(ce)

超光滑(hua)陶瓷樣件測(ce)量

超疏(shu)水(shui)表面形貌檢測(ce)

 

六、樣(yang)品測試報告:

  點擊表(biao)格內圖片或文字可查看詳細報告數據

 

 光學(xue)玻璃鏡片(pian)樣品測試(shi)報告(gao)

金屬(shu)片(pian)表面摩擦磨(mo)損樣品測試報告

石英砂(sha)樣(yang)品測試報(bao)告

手(shou)機配件樣品測試報告(gao)

超光滑凹面樣品測試報告

薄膜粗糙度測試報(bao)告

微光(guang)學器件樣品(pin)測試報告

微納結構樣品測(ce)試報告

微(wei)透鏡陣列樣品測試報告

 

 

 

 

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