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CP系列臺階儀

  • 產品型號:CP系列
  • 產品名稱:臺階儀
  • 主要特點:出色的重復性和再現性,強大的數據采集和分析功能
  • 生產企業:深圳市中圖儀器股份有限公司
  • 注釋:更多詳細產品信息,請聯系我們獲取

詳細信息

一(yi)、產品簡介(jie)

  CP系列臺階儀(yi)是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。測量時通過使用2μm半徑的金剛石針尖在超精密位移臺移動樣品時掃描其表面,測針的垂直位移距離被轉換為與特征尺寸相匹配的電信號并最終轉換為數字點云信號,數據點云信號在分析軟件中呈現并使用不同的分析工具來獲取相應的臺階高或粗糙度等有關表面質量的數據。

 

 

  CP系(xi)列(lie)臺階(jie)儀采用(yong)了線性可變差動電容傳感器(qi)LVDC,具(ju)備超微力調節的能力和亞埃級的分辨率,同(tong)時(shi),其集(ji)成了超低(di)噪聲信號采集(ji)、超精(jing)細運動控制、標定算(suan)法等(deng)核心技術,使得儀器(qi)具(ju)備超高的測量精(jing)度和測量重復性。

  CP系列臺(tai)階儀具備(bei)極(ji)強的(de)應用場景適應性(xing)(xing),其對被測樣品的(de)反射(she)率特性(xing)(xing)、材(cai)料(liao)種類及硬(ying)度等均無特殊要(yao)求,能夠廣泛應用于(yu)半導體、太陽能光伏(fu)、光學(xue)加工(gong)、LED、MEMS器(qi)件、微納材(cai)料(liao)制備(bei)等各(ge)行(xing)業(ye)領域內的(de)工(gong)業(ye)企業(ye)與(yu)高校院(yuan)所等科(ke)研單(dan)位,其對表面微觀形貌參數的(de)準確表征,對于(yu)相關材(cai)料(liao)的(de)評(ping)定、性(xing)(xing)能的(de)分(fen)析(xi)與(yu)加工(gong)工(gong)藝的(de)改善具有重要(yao)意(yi)義。

 

二(er)、產品(pin)功能

1. 參數測量功能

1) 臺階高度:能夠測量納(na)米到330μm甚至1000μm的臺階高度,可以準(zhun)確(que)測量蝕刻、濺射、SIMS、沉(chen)積、旋涂、CMP等(deng)工藝期間沉(chen)積或去除的材料;

2) 粗糙度(du)與波(bo)(bo)紋(wen)度(du):能(neng)夠測量樣品的粗糙度(du)和波(bo)(bo)紋(wen)度(du),分(fen)析軟件通過計算(suan)掃描出的微觀(guan)輪廓曲(qu)線,可(ke)獲(huo)取(qu)粗糙度(du)與波(bo)(bo)紋(wen)度(du)相關的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等20余項(xiang)參數;

3) 翹(qiao)曲(qu)(qu)與形(xing)狀:能夠測量樣品表面的(de)2D形(xing)狀或(huo)翹(qiao)曲(qu)(qu),如在半導體(ti)晶(jing)圓(yuan)制造(zao)過程(cheng)中(zhong),因多層沉積層結構中(zhong)層間不匹配所(suo)產生的(de)翹(qiao)曲(qu)(qu)或(huo)形(xing)狀變化(hua),或(huo)者類似透鏡在內的(de)結構高(gao)度和(he)曲(qu)(qu)率(lv)半徑。

2、數(shu)采與分析系統 

1) 自定義測量(liang)模式(shi):支持用戶以自定義輸入坐標(biao)位置(zhi)或相對(dui)位移(yi)量(liang)的(de)方式(shi)來設定掃描路徑(jing)的(de)測量(liang)模式(shi);

2) 導航(hang)圖智能測量(liang)模(mo)式:支持用戶結合導航(hang)圖、標定數據、即時圖像(xiang)以智能化生成移動命令方式來實現掃(sao)描的測量(liang)模(mo)式。

3) SPC統(tong)計(ji)分(fen)析:支持對(dui)不(bu)同種(zhong)類(lei)被測件(jian)進(jin)行多種(zhong)指標參數(shu)的分(fen)析,針對(dui)批量樣品的測量數(shu)據(ju)提(ti)供(gong)SPC圖(tu)表以統(tong)計(ji)數(shu)據(ju)的變(bian)化(hua)趨勢。

3、光學導(dao)航功(gong)能

  配(pei)備了500W像(xiang)素的彩色相機(ji),可實時將探針(zhen)掃描(miao)軌(gui)跡的形(xing)貌(mao)圖(tu)像(xiang)傳輸到軟件中顯示,進(jin)行(xing)即時的高精度定位測量。

4、樣品空間姿態調節功能

  配備了精密XY位移臺、360°電(dian)動(dong)旋轉(zhuan)平(ping)臺和電(dian)動(dong)升降Z軸(zhou),可對樣品的XYZ、角度等(deng)空間姿態進行調節,提高測量精度及效率(lv)。
 

三、典(dian)型應用

半導體應用

◆ 沉(chen)積薄膜的(de)臺(tai)階高(gao)度(du)
◆ 抗蝕劑(軟膜(mo)材(cai)料)的(de)臺(tai)階高度
◆ 蝕(shi)刻(ke)速率測定
◆ 化學機(ji)械拋光(腐蝕(shi)、凹陷、彎(wan)曲)

大型基板應(ying)用(yong)

◆ 印刷電路板(突起、臺階高(gao)度)
◆ 窗口涂(tu)層
◆ 晶片掩模
◆ 晶片卡盤涂料
◆ 拋光板

玻璃基板及(ji)顯(xian)示器(qi)應用

◆ AMOLED
◆ 液晶屏研發(fa)的臺(tai)階步級高度測量(liang)
◆ 觸(chu)控面板薄(bo)膜厚度測(ce)量
◆ 太陽能涂層(ceng)薄膜測量(liang)

柔(rou)性電子器件薄膜應用

◆ 有機光電(dian)探測器(qi)
◆ 印于薄膜和玻璃上的(de)有機薄膜
◆ 觸摸屏銅跡線

 

 

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