中文字幕在线观看日韩

SuperView WX 100白光干涉測頭

  • 產品型號:SuperView WX 100
  • 產品名稱:白光干涉測頭
  • 主要特點:便攜可搭載 一鍵批量分析
  • 生產企業:深圳市中圖儀器股份有限公司
  • 注釋:更多詳細產品信息,請聯系我們獲取

詳細信息

一、產品簡(jian)介

  SuperView WX 100白光干涉測頭是一款非接觸式精密光學測頭,其基于白光干涉和精密掃描研制而成,主要由光學干涉系統和Z向掃描系統組成,具有體積小、重量輕、便攜的特點,能夠方便地搭載在各種具備XY水平位移架構的平臺上,在產線上對器件表面進行自動化形式的測量,直接獲取與表面質量相關的粗糙度、輪廓尺寸等2D/3D參數。

WX-100白光(guang)干涉測頭

二、產品功能(neng)

1、測量(liang)功(gong)能(neng):能(neng)夠實(shi)現樣件(jian)表面的高精密Z向掃描(miao),獲取(qu)3D圖像;

2、分(fen)析功(gong)能:能夠(gou)獲取關于表(biao)面(mian)質量的粗糙度、微納級別的輪廓尺寸等2D、3D數據;

3、編程功能(neng):支持(chi)預配(pei)置(zhi)數據處理和分析工具步驟(zou),一鍵完成測量到分析全(quan)過程;

4、批量分析(xi)(xi):可根據(ju)需(xu)求參數定制(zhi)數據(ju)處理(li)和分析(xi)(xi)模板,針對同類(lei)型參數數據(ju)實現一鍵批量分析(xi)(xi);

 

三、應(ying)用領域(yu)

  對各種(zhong)產(chan)品、部件和(he)材料(liao)表面(mian)的粗(cu)糙度、波紋度、面(mian)形輪廓、表面(mian)缺(que)陷(xian)、磨損情況(kuang)、腐蝕(shi)情況(kuang)、孔隙間隙、臺階高(gao)度、加工情況(kuang)等表面(mian)形貌(mao)特(te)征進行測(ce)量和(he)分析。

應(ying)用范例:

半導(dao)體(ti).拋(pao)光硅(gui)片、減薄硅(gui)片、晶圓IC
3C電子.藍寶(bao)石玻璃(li)粗糙度、金(jin)屬殼(ke)模具(ju)瑕(xia)疵、玻璃(li)屏高度差

 

四、性能特色(se)

1、便攜可(ke)搭(da)載(zai)(zai) 獨特懸臂式結構(gou),可(ke)方便地搭(da)載(zai)(zai)在(zai)各類龍(long)門(men)架構(gou)水(shui)平位移(yi)平臺上(shang),通(tong)過軟件接(jie)口的連接(jie),即(ji)可(ke)構(gou)成一臺可(ke)自動測量的超高(gao)級精度的光學3D表面輪廓儀;

2、復(fu)合(he)型掃描算(suan)法(fa) 結合(he)了PSI相移(yi)法(fa)高精度(du)和VSI垂(chui)直法(fa)大范圍的(de)雙(shuang)重優點的(de)擴展(zhan)型相移(yi)掃描重建算(suan)法(fa),能夠適配 從超光滑(hua)到粗糙(cao)、光滑(hua)弧面等所(suo)有類型樣(yang)品,一鍵(jian)掃描,無須切換算(suan)法(fa);

3、防撞保護(hu)功(gong)能 Z向防撞傳感器,當鏡頭碰到樣件表面,進(jin)入(ru)緊急(ji)停止(zhi)狀態,不再下移;  

 

 

懇請注意:因市場發展和產品開發的需要,本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

其他相關產品